02 January 2026, 12:36

Revolutionäres Positionierungssystem des IMMS gewinnt Silbermedaille für Subnanometer-Präzision

Ein Collage-Bild, das eine Bohrmaschine und verschiedene Werkzeuge auf einem Tisch zeigt.

Revolutionäres Positionierungssystem des IMMS gewinnt Silbermedaille für Subnanometer-Präzision

Ein bahnbrechendes Positionierungssystem des IMMS wurde mit der Silbermedaille der Thüringer Innovationspreise ausgezeichnet. Die Technologie erreicht eine Präzision im Subnanometerbereich und setzt damit neue Maßstäbe in der industriellen Messtechnik. Die Auszeichnung wurde auf der Erfindermesse iENA verliehen und würdigt das Potenzial der Entwicklung für Hochtechnologiebranchen.

Das unter dem Titel 'Positionierungssystem mit einer Steuereinheit und Verfahren zu dessen Konfiguration' patentierte System wurde von PATON im Namen des Erfinders Alex Huaman eingereicht. Sein Kerninnovation liegt in einem dynamischen Steuerungskonzept, das Störungen in Echtzeit aktiv ausgleicht. Ein integrierter Störgrößenbeobachter berechnet störende Kräfte und Momente, sodass das System proaktiv gegensteuern und eine ultrapräzise Positionierung aufrechterhalten kann.

Validierungstests an einem 6D-Nanometer-Planarpositionierungssystem bestätigten seine Fähigkeit, auch über große Bewegungsbereiche hinweg höchste Genauigkeit zu liefern. Diese Präzision ist besonders in Bereichen wie der Halbleiterfertigung von Wert, wo eine Subnanometer-Auflösung die Qualitätssicherung und Prozessoptimierung verbessert. Über die Messtechnik hinaus unterstützt die Technologie Fortschritte in der Nanofabrikation – etwa bei Mikrochips, medizinischen Geräten wie implantierbaren Sensoren oder Hochpräzisionsoptiken für Laser und Halbleiter. Die wachsende Nachfrage nach Maschinen, die Nanometer-genaue Manipulationen ermöglichen, unterstreicht die Relevanz des Systems. Seine Fähigkeit, die Antriebspräzision während dynamischer Vorgänge zu erhöhen, adressiert zentrale Herausforderungen in moderner Fertigung und Forschung.

Die Silbermedaille bei den Thüringer Innovationspreisen betont den Einfluss des Systems auf den Präzisionsmaschinenbau. Mit Anwendungen in der industriellen Messtechnik, der Medizintechnik und der Halbleiterproduktion hat die Technologie das Potenzial, Qualität und Effizienz in Hochtechnologiebranchen voranzutreiben. Die Innovation des IMMS zeigt, wie Echtzeit-Störgrößenkompensation die Grenzen der Nanometer-Präzision erweitern kann.

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